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MASS-FLO 系列橡膠密封質量流量控制器
]資料
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產品名稱: MASS-FLO 系列橡膠密封質量流量控制器
產品型號:
產品展商:
MKS
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簡單介紹
MASS-FLO系列橡膠密封質量流量控制器
MASS-FLO 系列橡膠密封質量流量控制器的詳細介紹
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1179A/2179A 質量流量控制器/帶截至閥質量流量控制器，其滿量程范圍從10sccm-20slm。
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M100B/M10MB 質量流量控制器/質量流量監視器，其滿量程范圍i從10sccm-50slm，模擬通訊接口。
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1559A/558A 大流量質量流量控制器/質量流量監視器，其滿量程滿為從20-200slm，模擬通訊接口。
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1579A/579A 大流量質量流量控制器/質量流量監視器，其滿量程滿為從50-300slm,模擬或Profibus通訊接口。