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金屬密封數(shù)字質量流量控制器
]資料
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產品名稱: 金屬密封數(shù)字質量流量控制器
產品型號:
產品展商:
MKS
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簡單介紹
新一代多氣體/多量程數(shù)字質量流量控制器。
實時高精度流量控制是基于先進的數(shù)字算法技術，提供精度為設定值的正負1%，相應速度快于500毫秒，不同氣體及量程間自由切換的優(yōu)異功能。
Ethernet用戶通訊口方便地用于設置和診斷。各種模擬和數(shù)字（RS-485，DeviceNet，Modbus/TCP)通訊接口可選。
ALTA 系列金屬密封數(shù)字質量流量控制器。精度為設定值的正負1%，相應速度快于1秒，不同氣體及量程間自由切換。各種模擬和數(shù)字（Profibus，DeviceNet）通訊接口可選。
金屬密封數(shù)字質量流量控制器的詳細介紹
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P4B多氣體/多量程數(shù)字質量流量控制器，滿量程范圍從10sccm-50slm.
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P9B多氣體/多量程/壓力不敏感數(shù)字質量流量控制器，滿量程范圍從10sccm-50slm。
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P250A多氣體/多量程數(shù)字大流量質量流量控制器，滿量程范圍從100-250slm。
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P2A低壓質量流量控制器，滿量程范圍從2-50sccm。
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P5A集成壓力傳感器的多氣體/多量程數(shù)字質量流量控制器，滿量程范圍從10sccm-50slm。
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ALTA 1490A/180A數(shù)字質量流量控制器/質量流量監(jiān)視器，滿量程范圍i額從10sccm-30slm。
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ALTA MC20A數(shù)字質量流量控制器，滿量程范圍從20-200slm。